应用

• 半导体工业

• UHP液体化学品输配系统

功能特性

• 获得专利的双膜片设计

• 接液部件材质为氟烷氧基 (PFA)

• 即使在安装后也可实现360°旋转

• 防护等级高达IP 65或IP 67

• 可选：附着式指示器，参见数据手册PE 82.11

描述

HYDRA-line
系列产品 HYDRA-line系列压力测量仪表是我们和知名半导体企业（威卡客户）联合开发而成。所有该系列产品都满足过程设备和UHP化学品输配系统的特殊应用要求。

HYDRA-Sensor压力传感器具有高精度、高可靠性、超洁净的接液部件和表面。此外，所有接液部件的生产、清洁组件的装配、校验和包装均是在100级无尘室中完成的。

双重安全
获得专利的HYDRA双膜片系统可以安全可靠地将压力传感器与工作介质隔离开。此外，该型号产品还会将HF或HCI蒸汽等扩散介质排到外部环境中，从而可防止造成错误的测量结果或破坏传感器元件。

我们不保证市场上销售的产品能够在所有应用中完全隔离化学品。在有些应用中，可能会出现化学品透过膜片扩散的情况。